DLC涂層沉積設備組成的五部分系統(tǒng)

2022-09-12 14:27:30中山市利晟納米科技有限公司

DLC類金剛石涂層是一種亞穩(wěn)態(tài)的非晶碳莫，兼具金剛石和石墨的質優(yōu)特性，具有較好的硬度、杰出的熱傳導性、低摩擦系數、優(yōu)異的電絕緣性能、高化學穩(wěn)定性等應用長處，在機械制造、生物醫(yī)學、電子設備等范疇有著普遍應用。DLC涂層首要選用物理i氣相堆積法、化學氣相堆積法來制備，經過專門的堆積設備進行生產制造。

一、加熱與水冷體系

加熱體系與水冷體系均勻分布于堆積室四周，加熱溫度、速度及水量可控可調，并安裝有相應的報警裝置；旋轉體系坐落堆積室底部，經過絕緣陶瓷進行絕緣，旋轉速度可控可調。

二、真空體系

真空體系由機械泵、羅茨泵、擴散泵及相應的操控閥門、測量元件組成，能夠依據工藝需求自由地進行高真空和低真空的切換。

三、供氣體系

供氣體系置于堆積室頂部，氣體品種包含H2、N2、Ar、CHa、C2H2、含Si氣體，同時堆積室頂部預留兩路接口，便利以后其他品種氣體的添加。

含Si的過渡層是公認的PCVD辦法中有利于增強DLC涂層與基體結合力的一種涂層，為了取得Si，通常選用SiH4作為質料氣，但是SiH4危險性較高，所以在此選用了危險性較低的含Si氣體作為Si源。

四、堆積靶材體系

設備具有PVD和PCVD兩個堆積單元，PCVD單元首要意圖是用于類金剛石(DLC)的堆積，選用的電源為脈沖調制電源，各項參數接連可調，經過對參數的調整，能夠堆積不同硬度和厚度的DLC涂層，同時，經過對工件裝卡方式的調整，還能夠在復雜工件上進行涂層；PVD單元的意圖首要有：①針對不同的基體經過更換不同的靶材能夠開發(fā)不同的粘結層或含有不同品種元素的金屬摻雜DLC涂層；②經過更換靶材，能夠形成多種“功用層+DLC”的用于不同范疇的復合涂層。

五、電氣操控體系

電氣操控體系選用PLC全主動操控，包含上位機、PLC可編程操控器、適配轉換器、操控電源、真空操控電源及測量體系、送氣操控電源、溫控體系、冷卻水檢測操控電源等。開爐前，在工藝編輯界面編輯涂層工藝并存檔，在開爐時調用所需工藝，設備將主動運轉，并實時進行檢測監(jiān)控。若有問題設備將主動報警，依據警報等級設備選擇“等候”狀況或直接停機，待警報免除后繼續(xù)運轉。每爐的運轉記錄及報警記錄都主動存儲于電腦中便利查閱。依據需求，設備可改為全手動運轉，涂層過程中在主操作界面調整各項涂層參數進行操控。